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(극미세구조기술개발)나노크리스탈 실리콘 카바이드 박막의 제조 및 특성 연구
(극미세구조기술개발)나노크리스탈 실리콘 카바이드 박막의 제조 및 특성 연구
- 자료유형
- 연구보고서
- 00253596
- 최종처리일시
- 20080909104200
- KDC
- 505.026-4ㅅ
- 청구기호
- 505.026 신822ㄴ
- 저자명
- 신동혁
- 서명/저자
- (극미세구조기술개발)나노크리스탈 실리콘 카바이드 박막의 제조 및 특성 연구 / 신동혁 ; 동국대학교
- 발행사항
- 서울 : 과학기술부, 1999
- 형태사항
- p63 : 삽도 ; 27 cm
- 키워드
- 나노크리스탈 실리콘 카바이드
- 전자적 위치 및 접속
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- 가격
- 비매품