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10nm급 측정 원천기술 개발 = Development of fundamental technology for 10 nm scale measurement
10nm급 측정 원천기술 개발 = Development of fundamental technology for 10 nm scale measurement
- 자료유형
- 연구보고서
- 언어부호
- 본문언어 - kor, 요약문언어 - eng
- KDC
- 505.026
- 청구기호
- 505.026 이921
- 서명/저자
- 10nm급 측정 원천기술 개발 = Development of fundamental technology for 10 nm scale measurement / 이학주 ; 한국기계연구원
- 발행사항
- [서울] : 교육과학기술부, 2012
- 형태사항
- 370p : 삽화, 도표 ; 30 cm
- 총서명
- 국가연구개발사업 : 21C 뉴프론티어연구개발사업
- 서지주기
- 참고문헌: p. 368-370
- 기타저자
- 이학주
- 기타저자
- 교육과학기술부
- 기타저자
- 한국기계연구원
- 전자적 위치 및 접속
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- 가격
- 가격불명
