자료유형  

 연구보고서

 

00335283

최종처리일시  

20120405103016

KDC  

505.026-4

청구기호  

505.026 서882ㅁ

저자명  

서갑양

서명/저자  

모세관 리소그라피를 이용한 나노구조 공정 개발 / 서갑양 ; 서울대학교

발행사항  

[과천] : 과학기술부, 2005

형태사항  

23p : 삽도 ; 26cm

주기사항  

21세기 프론티어연구개발사업

키워드  

모세관 리소그라피 나노제조 대면적 패터닝

기타저자  

서울대학교

전자적 위치 및 접속  

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