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극한 환경 초소형 전자기계부품용 3차원 SIC 미세구조물 제조와 그 응용에 관한 연구 / 과학기술...

극한 환경 초소형 전자기계부품용 3차원 SIC 미세구조물 제조와 그 응용에 관한 연구

자료유형: 연구보고서

: 00335138

최종처리일시: 20120323150026

KDC: 505.026-4

청구기호: 505.026 정882ㄱ

저자명: 정귀상

서명/저자: 극한 환경 초소형 전자기계부품용 3차원 SIC 미세구조물 제조와 그 응용에 관한 연구 / 과학기술부 [편]

발행사항: [과천] : 과학기술부, 2004

형태사항: xxv,332p : 삽도 ; 26cm

주기사항: 연구기관 : 동서대학교

키워드: 극한환경 초소형 전자기계부품용 미세구조물

기타저자: 동서대학교

전자적 위치 및 접속: 원문보기

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