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(소재공정기술개발)집적회로 박막제조를 위한 유기금속화합물 제조에 관한 연구
(소재공정기술개발)집적회로 박막제조를 위한 유기금속화합물 제조에 관한 연구 / 최형수 ; 한국...
(소재공정기술개발)집적회로 박막제조를 위한 유기금속화합물 제조에 관한 연구
자료유형  
 연구보고서
 
00260106
최종처리일시  
20081030152330
KDC  
505.026-4ㅅ
청구기호  
505.026 최752ㅈ
저자명  
최형수
서명/저자  
(소재공정기술개발)집적회로 박막제조를 위한 유기금속화합물 제조에 관한 연구 / 최형수 ; 한국과학기술연구원
발행사항  
서울 : 과학기술처, 1991
형태사항  
102p : 삽도 ; 27 cm
총서명  
제1차년도 연차보고서
키워드  
집적회로 박막제조 유기금속화합물 제조 소재공정기술개발
전자적 위치 및 접속  
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